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半導體制造與科研的隱形動力kashiyama樫山工業的選型指南與行業案例分析

更新時間：2025-12-25      瀏覽次數：90
在現代工業與科研領域，真空技術已成為推動創新的隱形引擎。從納米級半導體芯片的制造，到食品藥品的安全包裝，再到前沿科學的實驗室探索，真空系統的性能直接影響著工藝穩定性、產品質量與研發效率。作為擁有數十年真空技術積淀的，樫山工業（Kashiyama）憑借對不同應用場景的深刻理解，構建了覆蓋全領域的真空解決方案矩陣。本文將系統解析樫山真空產品的技術特性與應用策略，助您精準匹配真空方案。


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01
高科技制造領域：工藝導向的精準真空方案
針對半導體、平板顯示（FPD）等高科技制造的工況（如腐蝕性氣體、微粒污染、高速排氣），樫山工業通過四大技術路徑提供定制化方案。
1.1 半導體制造：分階應對多元工藝挑戰
高潔凈度工藝解決方案 （CVD/ALD等核心制程）
SD系列/SDE系列干式真空泵 ：
工藝適應性 ：螺桿結構+特殊涂層轉子，耐受Cl?、NF?等強腐蝕性氣體，減少維護停機時間。
寬域排氣能力 ：1,000~40,000 L/min，適配300mm晶圓至封裝產線。
低污染設計 ：無油運行，顆粒物排放控制在Class 1級別，確保芯片良率。
SD系列
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中等工藝與輕型工藝方案
MU系列/MU-PE/HE系列 （蝕刻工藝）：優化氣路設計實現耐酸與節能，排氣速度5,000~30,000 L/min，匹配等離子蝕刻腔體需求。
MU-XE系列 （負載鎖定/PVD等輕型工藝）：緊湊設計節省30%安裝空間，排氣速度1,000~5,000 L/min，能耗降低25%，適用于空間受限產線。
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1.2 平板顯示（FPD）制造：溶劑排氣與大面積制程突破
SDL系列 （溶劑排氣專用）：
高速排氣 ：10,000~40,000 L/min，快速清除光刻膠揮發物，配合氣體冷卻系統防止溶劑冷凝堵塞管路。
行業驗證 ：三星、LG等面板 TFT-LCD/OLED蒸鍍工藝的標準配置。
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02
通用工業與科研領域：場景化高效真空解決方案
聚焦易用性、經濟性與環境適應性，提供空冷式與水封式兩大技術路線，覆蓋實驗室到生產線全場景。
2.1 空冷式干式真空泵：免維護時代的開啟
NeoDry系列 （擺脫冷卻水依賴）：
全生命周期成本優化 ：
G系列（100~2,000 L/min） ：陶瓷涂層軸承，維護間隔延長至15,000小時。
E系列（2,000~5,000 L/min） ：變頻調速功能，平均節能35%。
低噪音運行 ：≤55dB（相當于正常交談），適配理化分析、醫療檢測等噪音敏感場景。
多領域適配 ：高校實驗室質譜分析、制藥凍干、電子元件封裝測試等跨行業通用。
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2.2 水封式真空泵：潮濕環境的可靠伙伴
LEH/LEM系列 （含水分排氣場景）：
汽水分離設計 ：處理含濕量高達20%的排氣，排氣速度100~30,000 L/min。
行業應用 ：食品干燥、污水處理曝氣、木材防腐等；案例：日本麒麟啤酒生產線采用LEM-800，麥芽干燥時間從8小時縮短至5小時，能耗降低22%。

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03
選型指南：三步鎖定最佳真空方案
樫山提供科學選型方，精準匹配需求：
：明確工藝特性
氣體類型（腐蝕性/惰性/含顆粒/含水汽）、真空度范圍（粗/高/超高真空）、排氣速度（L/min）。
第二步：環境約束評估,安裝空間、能源供應（電力/冷卻水）、噪音與振動要求。
第三步：長期運營成本核算,初期投資（設備+安裝）、能耗、維護周期與成本。
案例參考 ：
半導體ALD工藝（三甲基鋁氣體+高潔凈度+2,000 L/min）→ 推薦SDX1200型號；
食品包裝真空封口（空氣介質+1,000 L/min+無冷卻水）→ NeoDry G1000。


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