ppm級漏氧難捕捉？東麗 LC-750L 用氧化鋯技術守住高純氣體的質量底線

更新時間：2026-06-04

瀏覽次數：183

在半導體制造、鋰電池材料干燥及高純氣體純化工藝中，微量氧（ppm級）的滲入往往意味著產品良率的直接下滑。常規電化學傳感器易受干擾、漂移大且需頻繁標定，難以滿足長期在線穩定監測的需求。

日本TORAY（東麗）LC-750L系列氧化鋯式氧氣濃度計，專為低濃度氧（ppm級）檢測開發，搭載東麗自研超小型氧化鋯傳感器，以能斯特（Nernst）原理實現高精度、長壽命、免頻繁標定的微量氧在線分析，是高純氮氣、氬氣及惰性氣體保護工藝中值得信賴的過程監控方案。

7.1.jpg

一、測量原理——氧化鋯濃差電池，直讀ppm級氧濃度

LC-750L內置東麗原創氧化鋯陶瓷傳感器（Zirconia Sensor），兩側涂覆鉑電極并加熱至高溫工作態：

提供 0～10 / 100 / 1000 ppm / 100% O? 多檔固定量程（按型號），測量精度 ±2%FS，重復性 ±0.5%～±1%FS，T??響應時間≤5～10秒，能敏銳捕捉工藝中微量氧波動。

傳感器經特殊防劣化處理，配合可選活性炭過濾器（吸附有機物）、棉質過濾器（防塵）、硅過濾器（吸附含硅氣體），有效延緩傳感器老化，適合復雜工業現場長期使用。

僅需開機→選擇對應量程→通入樣氣即可顯示，無需復雜參數設定；4位LED數碼管直觀顯示濃度值，支持 4～20mA 模擬輸出及 RS-232C 通信，可接入DCS/PLC實現遠程監控與數據記錄。

標配上限/下限兩點濃度報警（無電壓接點輸出），氧濃度超標即時觸發聲光或聯動切斷；部分配置帶傳感器狀態監測功能，便于預判維護時機。

行業	監測對象
半導體/平板顯示	高純N?/Ar保護氣微量氧監測、CVD/濺射腔體 purge 氣驗證
鋰電池制造	電極涂布烘干、注液手套箱、化成靜置區惰性氣體殘氧檢測
空分/特種氣體	制氮機出口、氣體純化裝置下游 O?含量在線控制
食品/醫藥	氣調包裝（MAP）頂空殘氧分析、凍干工藝保護氣監測
熱處理/冶金	氮氣保護燒結爐入口氧含量監控